本产品是硅-硅键合结构的 MEMS 压阻式压力传感器芯片,采用 N 型衬底、P 型压阻形成惠斯顿全桥。在标准工作电源下,传感器可以输出与被测压力成良好线性关系的的毫伏级电压信号,可适用于多种应用领域及不同的封装形式。
其特点如下:
● 芯片尺寸:1070m1070m,厚度 250~600m 范围内可定制(默认 300μm)
● PAD 尺寸:100m100m
● 切割道宽度:100m
● 压力量程:350kPa;100~1000kPa 范围内可定制
● 非线性±0.3%FS
● 工作温度-40°C~125°C
● 应用范围:
● 高度计/气压计
● TMAP
● TPMS/手持胎压计
● 机油压力检测
● 绝压控制系统
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